Ткаченко Максим Алексеевич. Усовершенствование технологии шлифовки кремниевых структур с диэлектрической изоляцией : дис... канд. техн. наук: 05.27.06 / Кременчугский ун-т экономики, информационных технологий и управления. — Кременчуг, 2005. — 143л. : рис., табл. — Библиогр.: л. 134-140.